XRD (X線回折)
XRDの原理及び特徴
結晶試料中にX線が入射すると、特定の方向に強くX線が回折される現象が生じます。図のような格子面からの回折を考えた場合、A面で回折されたX線とB面で回折されたX線の光路差は2d sinθとなります。この値が、X線の波長の整数倍であった場合、回折X線の位相がそろい強い強度のX線が検出されることになります。
X線回折測定では、ブラッグの回折条件を満たし回折されたX線を調べることにより、以下のようなことが行えます。
- 不明物質の同定
- 結晶子サイズの決定
- 結晶方位評価（配向性評価）
- 結晶化度測定
- 応力評価（圧縮、引っ張り）
- エピ材料における高分解能ＸＲＤによる格子緩和、格子ひずみの評価
分析例
TiN薄膜の結晶子サイズのシミュレーション結果
