TEM (透過電子顕微鏡)
TEM/STEM
| 定量分析 | 検出感度 | 化学結合状態 | 破壊測定 | 空間分解能/ビーム径 | 深さ分解能 |
|---|---|---|---|---|---|
| No | N/A | No | Yes (Sample Prep) | 1-3Å (TEM) 6-15Å (STEM) | N/A |
特徴
- ナノスケールレベルの分解能で構造・形態観察
- 元素像の高分解能マッピング
- 格子像観察
- Ｚコントラスト像観察
主な応用例
- III－V・GaN系薄膜・ デバイスの断面構造観察及び元素分析
- Si系薄膜・ デバイスの断面構造観察及び元素分析
- その他各種固体材料の形態・構造観察
- 燃料電池触媒の観察
- 有機EL素子等、有機デバイスの構造評価
TEMの原理（結像モード）
断面TEM観察（Ｗ/Poly-Siコンタクト）
■ EDS分析
平面TEM: Al膜のグレインサイズの観察
