SEM-EDS (走査型電子顕微鏡)
SEM 試料の表面形態を高倍率で観察可能
| 定量分析 | 検出感度 | 化学結合状態 | 破壊測定 | 空間分解能/ビーム径 | 深さ分解能 |
|---|---|---|---|---|---|
| 測長 | N/A | No | 非破壊 | 1 nm | N/A |
一般的な装置概略図
電子線と固体の相互作用
インレンズ型FE-SEM
■ 装置概略図
被写界深度 の高い分析
■ 表面構造観察
ArイオンミリングによるCuの観察
■ 広い領域での、グレイン構造の顕在化
Arイオンミリングによるバリア層の観察
■ 選択エッチングによる層層構造の顕在化
微粒子膜の観察例
