不純物分析
- SIMS (二次イオン質量分析)
- GDMS (グロー放電質量分析)
- ICP-OES (高周波誘導結合プラズマ発光分析)
- LA-ICP/MS (レーザー照射型 誘導結合プラズマ質量分析)
- IGA (ガス成分分析)
- TOF-SIMS (飛行時間型二次イオン質量分析)
- TXRF (全反射蛍光X線分析)
- LEXES (低エネルギーX線分析)
- SRP (広がり抵抗測定)
- GCMS (ガスクロマトグラフ質量分析)
組成分析
形態観察 / 構造解析
封止パッケージ(半導体や電子部品)内の水分量、ガス成分分析
IVA分析/HR-IVA分析 (封止パッケージ(半導体や電子部品)内の水分量、ガス成分分析)
IVA分析とHR-IVA分析の特長
| IVA分析 | HR-IVA分析（高感度IVA分析） | |
|---|---|---|
| 測定可能な元素 | 水蒸気、窒素、酸素、アルゴン、二酸化炭素、水素、ヘリウム、フッ化炭素、炭化水素(CH)および主要な有機物をppmレベルで検出できる。 (質量範囲：2～150(AMU)) | |
| 測定可能な内容積 | IVA分析: 0.01cc以上 | HR-IVA分析: 1nl (=1x10-6cc)以上 （注）1atmの窒素ガスを封入したパッケージで 測定可能な内容積 |
| 質量分析計 | 四重極型 (Q-pole) | 飛行時間型 (Time Of Flight (TOF)) |
| 検出感度 | 水蒸気は100ppmv、その他のガス成分は10ppmv以下も検出可能である。 | |
| 精度 | 水蒸気：±10%以内(@5,000ppmv) | |
IVATM分析(Internal Vapor Analysis)について
IVATM分析(Internal Vapor Analysis)は封止されたパッケージデバイス内の水分量（水蒸気）、主成分ガス、残留ガス成分の相対濃度について、質量分析計を用いて定量分析する手法です。この分析手法はMIL規格(MIL-STD-750又は883)に準拠して測定を行なうことが出来ます。
IVATM分析は、広く知られている封止パッケージの残留ガス分析(RGA分析)やMIL規格の内部ガス分析(Internal Gas Analysis)を発展させた分析手法です。
HR-IVATM分析（高感度IVA分析）では、従来のRGA分析では検出できなかった微小封止パッケージ(内容積が1nl(=1x10-6cc)まで)の水分量や内部ガス成分を検出することができます。
IVATM分析のアプリケーション
IVA分析は電子デバイス、光デバイス、MEMS、照明、医療機器、プラスチックバックなど
封止パッケージ内の水分量、封止ガス、残留ガスを分析できます。
分析事例：ガラスフリット封止を行なったセラミックスパッケージの良品と不良品の比較
■ セラミックパッケージ中のIVA分析結果（良品と不良品の比較）
不良品では二酸化炭素(CO2)と水(H2O)が多量に検出されている。
| Sample ID | 良品(OK) | 不良品(NG) |
|---|---|---|
| 窒素 (%v) | 81.0 |
78.9 |
| 酸素 (%v) | 17.9 |
15.6 |
| アルゴン (ppmv) | 9,221 |
9,211 |
| 二酸化炭素(ppmv) | 0.11 |
3.67 |
| 水(H2O) (ppmv) | 541 |
8,795 |
