不純物分析
- SIMS (二次イオン質量分析)
- GDMS (グロー放電質量分析)
- ICP-OES (高周波誘導結合プラズマ発光分析)
- LA-ICP/MS (レーザー照射型 誘導結合プラズマ質量分析)
- IGA (ガス成分分析)
- TOF-SIMS (飛行時間型二次イオン質量分析)
- TXRF (全反射蛍光X線分析)
- LEXES (低エネルギーX線分析)
- SRP (広がり抵抗測定)
- GCMS (ガスクロマトグラフ質量分析)
組成分析
形態観察 / 構造解析
ORS社分析サービス
IGA (ガス成分分析)
ガス成分分析の原理
高温の坩堝内で試料を燃料と共に燃焼し急速に加熱し
揮発性物質へと変換する。
- 炭素と硫黄は、燃焼及び赤外線検知によって評価
- 窒素と酸素及び水素は、不活性ガス融合によって評価
- 窒素と水素は、熱伝導率を用いて検出する。
- 酸素は、赤外線検出器によって検出する。
