不純物分析
組成分析
形態観察 / 構造解析
- TEM (透過電子顕微鏡)
- FE-SEM (走査型電子顕微鏡)
- AFM/SPM (原子間力顕微鏡/走査型プローブ顕微鏡)
- XRD (X線回折)
- μFTIR (フーリエ変換赤外分光分析)
- Raman (ラマン分光分析)
ORS社分析サービス
AFM/SPM (原子間力顕微鏡/走査型プローブ顕微鏡)
AFM/SPM
特徴：原子レベルの表面形状測定。PＮ接合分布測定（SCM）等
| 定量分析 | 検出感度 | 化学結合状態 | 破壊測定 | 空間分解能/ビーム径 | 深さ分解能 |
|---|---|---|---|---|---|
| No | − | No | No | 1.5-5nm | 0.01nm |
AFM/SCM アプリケーションIII-V系材料
■ 異常成長したＧａＡｓ表面の形状観察
■ ヒドロゲルをコーティングしたカテーテル
