表面分析受託サービスのナノサイエンス

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各種表面分析受託サービス

各種分析手法

■ 不純物分析（定量、定性、面内分布、キャリア濃度、汚染、有機物など）

■ 組成分析(組成、膜厚、密度、結合状態、微小異物、マッピングなど)

■ 形態観察/構造解析 （形状、膜厚、構造、欠陥観察、結晶性、結合状態など）

各種表面分析手法の検出感度と分析領域の大きさ