各種表面分析受託サービス
各種分析手法
■ 不純物分析（定量、定性、面内分布、キャリア濃度、汚染、有機物など）
■ 組成分析(組成、膜厚、密度、結合状態、微小異物、マッピングなど)
■ 形態観察/構造解析 （形状、膜厚、構造、欠陥観察、結晶性、結合状態など）
- TEM (透過電子顕微鏡)
- FE-SEM (走査型電子顕微鏡)
- AFM/SPM(原子間力顕微鏡/走査型プローブ顕微鏡)
- XRD (X線回折)
- μFTIR (フーリエ変換赤外分光分析)
- Raman (ラマン分光分析)
- TG/DTA (示差熱・熱重量同時測定)
各種表面分析手法の検出感度と分析領域の大きさ
