顕微鏡用倍率補正スタンダード MRS-3-ITO仕様
| スケール仕様 |
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2μm、50μm、500μm |
|---|---|---|
| 精度 | ± 0.25μm（500μmピッチ ± 0.025μm（50μm、2μmピッチ） |
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| パターン高さ | 0.1μm | |
| 外 形 | 9.0x9.0x2.3mm（サイズの変更も可能） | |
| 適用倍率 | 10倍～50,000倍 | |
| 適用顕微鏡 | SEM（二次電子像、反射電子像）, TEM（反射電子像）、AFM, STM、触針段差計、光学顕鏡 XPS、AES, EDS、WDS、XRFなどの化学マッピング |
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| 適用補正 |
ディストーションの補正 ティルトアングルの補正 CRTとレンズ焦点補正 |
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| 基板 | ITO膜成製された石英ガラス基板にCrO2(30nm)の膜パターンニング | |
詳細パターン例
リテーナーにマウントされた状態
■ SEM用リテーナー：MRS SEM/R
- リテーナーサイズ：25mm径ｘ3mm厚
- 中心部の9mm角のくぼみに、MRS（9mm角)が固定されています。
- 特注サイズのリテーナー作製可能。（別途見積り）
■ 光学顕微鏡用リテーナー：MRS OMR（特注）
