その他の各種標準試料の販売
米国 Geller 社 各種標準試料価格表 （2010年1月改定）
■ 超高真空用スタンダード (UHV-EL) ＊データはつきません。
| ホルダーのみの場合 | 試料込みの場合 | ||
|---|---|---|---|
| UHV-EL-6 | Elemental mount with 6 elements | 24,000 円 | 119,000 円 |
| UHV-EL-9 | Elemental mount with 9 elements | 30,000 円 | 182,000 円 |
| UHV-EL-12 | Elemental mount with 12 elements | 36,000 円 | 245,000 円 |
| UHV-EL-15 | Elemental mount with 15 elements | 42,000 円 | 308,000 円 |
| UHV-EL-18 | Elemental mount with 18 elements | 48,000 円 | 371,000 円 |
* 以上のスタンダードは真空容器VUS-J-S (28,000円)は別売りです。
* 酸化しやすい試料に関しては真空容器のご購入をお勧めします。
* ホルダー、試料の組み合わせは自由です。
| UHV-EL-37 | Elemental mount with 37 elements 真空容器（ VUS-J-S ）付き |
75,000円 | 680,000円 |
| UHV-EL-37PL/-37VG | PHI 装置用又は VG 装置用マウントアダプター | 75,000 円 | |
| UHV-EL-40RE | 追加試料 | 19,000 円 | |
| UHV-EL-Diamond | 追加試料（ダイアモンド結晶；研磨面あり） | 30,000 円 | |
| UHV-EL-SRM482 | (5)NIST Cu:Al wire | 44,000 円 | |
| UHV-EL-Al-Cu | X-ray Calibration standard (NIST trace.) | 30,000 円 | |
| JN-1 | SEMデモ用スタンダード（超高真空非対応） | 120,000円 | |
■ スパッタリングレート補正用スタンダード
| ISC-SIO2-200 | SiO2( @ 20nm 厚 ) Si 基板 (4"φ) ( 膜厚均一性： ± 1 ％ ) | 200,000 円 |
| ISC-SIO2-500 | SiO2(@100nm厚) Si基板 (4”φ) (膜厚均一性：±5％) | 95,000円 |
| ISC-SIO2-1K | SiO2(@100nm厚) Si基板 (4”φ) (膜厚均一性：±1％) | 200,000円 |
| ISC-SIN-1K | SiN( @ 100nm 厚 ) Si 基板(1cm×3cm) | 70,000 円 |
| ISC-TA2O5 | Ta2O5( @ 100nm 厚 )Ta 基板 (37×37mm) | 70,000 円 |
| NiCr-3 | Cr(60nm)/Ni(60nm) 多層膜 (12 層 ) Si 基板 (1cm×3cm) | 120,000 円 |
■ 真空容器 ＜Ｊシリーズ：ガラス製、ＳＳシリーズ：ステンレス製＞
| VUS-J-S | ガラス製真空容器（ 41mm 内径、 30mm 内部有効高さ） | 28,000 円 |
| VUS-J-M | ガラス製真空容器（ 76mm 内径、 71mm 内部有効高さ） | 50,000 円 |
| VUS-J-L | ガラス製真空容器（ 75mm 内径、 150mm 内部有効高さ） | 70,000 円 |
| VUS-SS-4.5 | ステンレス製真空容器（４インチコンフラットフランジ） | 100,000 円 |
| VUS-SS-4.63 | ステンレス製真空容器（４ 5/8インチコンフラットフランジﾞ | 100,000 円 |
| UVS-SS-6 | ステンレス製真空容器（ 6インチコンフラットフランジ） | 120,000 円 |
| UVS-SS-8 | ステンレス製真空容器（ 8インチコンフラットフランジ） | 150,000 円 |
＊蓋、ガスケット周辺部品は別途見積・要相談。
■ 顕微鏡用倍率補正スタンダード (ISO対応)
| ホルダーなし | ホルダーあり | ||
|---|---|---|---|
| MRS-3NT (9mm×9mm×2.3mm厚) |
2μm ファインパターン (±0.1μm) 10 倍から 50,000 倍まで |
120,000 円 |
(MRS-SEM/R場合) 140,000円 |
| MRS-3XY (トレーサブル) | XYのキャリブレーションデータ付 | 340,000円 | 360,000円 |
| MRS-3XYZ（トレーサブル） | XYZのキャリブレーションデータ付 | 400,000円 | 420,000円 |
| MRS-3-ITO-NT (9mm×9mm×2.3mm厚) |
2μm ファインパターン (±0.1μm) 10 倍から 50,000 倍まで |
230,000円 | 250,000円 |
| MRS-3ITOXY (トレーサブル) | XYのキャリブレーションデータ付 | 420,000円 | 440,000円 |
| MRS-3ITOXYZ (トレーサブル) | XYのキャリブレーションデータ付 | 480,000円 | 500,000円 |
| MRS-4NT (9mm×9mm×2.3mm厚) |
0.5μmファインパターン(±0.05μm) 10倍から200,000倍まで |
230,000円 | 250,000円 |
| MRS-4XY (トレーサブル) | XYのキャリブレーションデータ付 | 420,000円 | 440,000円 |
| MRS－4XYZ（トレーサブル） | XYZのキャリブレーションデータ付 | 480,000円 | 500,000円 |
＊ MRSはガラス基板を採用しているため破損しやすく、専用ホルダー（Retainer）ありでのご購入をお勧めします。
＊ サイズ調整変更、特殊加工可能です。（別途相談, 別途見積り）
＊ カーボンコーティング膜（約20nm）あり、なしの選択可能です。（SEMに使用の場合, コーティング膜ありでご購入ください）
＊ デモ品（MRS-4NT）貸し出し可能。お問い合わせください。
| MRS-SEM/R Retainer | SEM用専用ホルダー(25mmφｘ3mm厚) |
25,000円 |
| MRS-OM/R | 光学顕微鏡用アダプター | 25,000円 |
| MRS-3mm | TEM用ホルダー(3mm x 0.25mm厚) | 35,000円 |
| MRS-3XY/R | MRS-3XYのクリーニング及びXY再校正 | 220,000円 |
| MRS-3XYZ/R | MRS-3XYZのクリーニング及びXYZ再校正 | 260,000円 |
| MRS-4XY/R | MRS-4XYのクリーニング及びXY再校正 | 240,000円 |
| MRS-4XYZ/R | MRS-4XYZのクリーニング及びXYZ再校正 | 300,000円 |
| MRS-3/C or MRS-4/C | クリーニングのみ | 40,000円 |
| MRS-5NT (2mm X 2mm X 0.5mm) |
最小ピッチ：80nm 2,500倍から1,000,000倍に対応 |
520,000円 |
| MRS-5 XY(トレーサブル) | XYのキャリブレーションデータ付 | 880,000円 |
＊ MRS-5もカーボンコーティング膜あり・なしの選択が出来ます。
| MR-1（マイクロ定規） (25mm×180mm×3mm厚) |
Xキャリブレーション付（トレーサブル） | 240,000円 |
◇50,000円より少ない場合のご注文には輸入時送料（5,000円）を申し受けます。ご注意ください。
◇上記価格に消費税は含まれておりません。
◇為替の変動により、やむを得ず価格を変更させていただく場合がございます｡予めご了承下さい。
◇標準試料納入後、万一不都合がございましたら、1ヶ月以内にご連絡下さい。
◇上記標準試料に関するお問い合わせは、下記担当までご連絡下さいますようお願い致します。
◇納期は在庫状態に依存します。真空容器SSシリーズは注文製作ですので、納期は1ヶ月以上となります。
ナノ サイエンス 株式会社
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