SIMS標準試料及びESCA,AES,EPMA用スタンダード販売のナノサイエンス
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> 各種SIMS標準試料の販売及びイオン注入サービス:仕様【InP Ion Implant Reference Materials】
価格表
仕様
各種SIMS標準試料の販売及び イオン注入サービス
Si
SiO
2
SiN
WSi
TiN
TiW
Al
GaAs
InP
Other
仕様:Other Ion Implant Reference Materials
■ SiC:Basic Single Element Implants
Species
Nominal Energy (keV)
Nominal Dose (at/cm
2
)
14
N
250
3x10
15
SiC ion implant reference materials are approximately 1 cm x 1 cm