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価 格 |
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Si基板
－イオン注入(1元素につき)
－フルセット(38元素)
H, Li, B, C, N, O, F, Na, Mg, Al, P, S, Cl, K, Ar, Ca, Ti, Cr, Fe, Mn, Co, Ni, Cu, Zn, Ga, Ge, As, Br, Mo, Pd, Ag, In, Sn, Sb, Ta, W, Pt, Au |
¥95,000
¥1,850,000 |
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SiO2基板
－イオン注入(1元素につき)
－フルセット(34元素)
H, B, C, N, F, Na, Mg, Al, P, S, Cl, K, Ar, Ca, Ti, Cr, Fe, Mn, Co, Ni, Cu, Zn, Ga, Ge, As, Br, Mo, In, Sn, Sb, Ta, W, Pt, Au |
¥95,000
¥1,850,000 |
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SiNx基板
－イオン注入(1元素につき)
－フルセット(29元素)
B, C, O, F, Na, Mg, Al, P, S, Cl, K, Ar, Ca, Ti, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, As, Br, Mo, Sn, Sb, Ta, W, Pt, Au, H(バルク標準):4.2 atomic%
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¥95,000
¥1,850,000 |
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WSix基板
－イオン注入(1元素につき)
－フルセット(32元素)
H, B, C, N, O, F, Na, Mg, Al, P, S, Cl, K, Ar, Ca, Ti, Fe, Mn, Co, Ni, Cu, Zn, Ga, As, Br, Mo, In, Sn, Sb, Ta, Pt, Au |
¥95,000
¥1,850,000 |
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TiNx基板
－イオン注入(1元素につき)
－フルセット(30元素)
H, B, C, O, F, Na, Mg, Al, P, S, Cl, K, Ar, Ca, Fe, Mn, Co, Ni, Cu, Zn, Ga, As, Mo, In, Sn, Sb, Ta, W, Pt, Au |
¥95,000
¥1,850,000 |
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TiWx基板
－イオン注入(1元素につき)
－フルセット(25元素)
B, C, N, O, Mg, Al, P, Cl, K, Ca, Fe, Mn, Co, Ni, Cu, Ga, As, Br, Mo, In, Sn, Sb, Ta, Pt, Au |
¥95,000
¥1,850,000 |
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Al基板
－イオン注入(1元素につき)
－フルセット(31元素)
B, C, N, O, F, Na, Mg, P, S, Cl, K, Ar, Ca, Ti, Fe, Mn, Co, Ni, Cu, Zn, Ga, As, Br, Mo, In, Sn, Sb, Ta, W, Pt, Au |
¥95,000
¥1,850,000 |
コンプリートセット(219元素)
[Si, SiO2, SiNx, WSi, TiNx, TiWx, Al基板]
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¥11,000,000 |
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GaAs基板 －イオン注入(1元素につき)
－フルセット(29元素)
1H, 2H, Be, B, C, N, O, F, Na, Mg, Al, Si, S, Cl, Ca, Cr, Mn, Fe, Ni, Cu, Zn, Br, Se, Cd, In, Sn, Te, Pt, Au |
¥110,000
¥1,900,000 |
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InP基板
－イオン注入(1元素につき)
－フルセット(20元素)
H, Be, B, C, N, O, Na, Mg, Si, S, Cl, K, Ca, Cr, Fe, Ni, Cu, Zn, Se, Sn |
¥120,000
¥1,900,000 |
