表面分析受託サービス及び信頼性試験受託サービスのナノサイエンス
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各種表面分析受託サービス
不純物分析
(定量、定性、面内分布、キャリア濃度、汚染、有機物など)
組成分析
(組成、膜厚、密度、結合状態、微小異物、マッピングなど)
形態観察/構造解析
(形状、膜厚、構造、欠陥観察、結晶性、結合状態など)
半導体パッケージ部品のアウトガス測定
(MIL規格)
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表面分析受託サービス
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標準試料販売
各種SIMS標準試料の販売及びイオン注入サービス
<米国 Evans Analytical Group 社>
価格表
仕様
その他の各種標準試料の販売
<米国 Geller 社>
価格表
■ ESCA,AES,EPMA用スタンダード(UHV STANDARDS)
仕様
■ イオン・スパッタリング用スタンダード
仕様
■ 顕微鏡用倍率補正スタンダード
MRS-3 仕様
MRS-4 仕様
MRS-5 仕様
MR-1 仕様
■ 真空容器VUS-J
仕様
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