信頼性試験評価受託サービスのナノサイエンス

Kr85リーク試験法は、高信頼性デバイス内のファイン及びグロスリークレートを測定するために使用される高感度の試験法です。この試験法は1950年代に開発され、現在でもハイブリッドデバイス、センサー、医療移植片、SiベースのMEMSといったパッケージに用いられています。Kr85リーク試験は、極めて分析時間が短く、かつ微小リーク（＜10-12　atm cc /sec Air limits） を検出でき、リークサイトの同定も可能であることが特徴です。デバイス（試験サンプル）は特別なチャンバーに入れられ、僅かなKr85ガスと窒素の混合ガスをチャンバーの中に導入後、加圧されます。

この印加の圧力と加圧時間は、測定するサンプルのキャビティーの大きさ、測定対象とする気密性（どのオーダーのリークの有無まで調べたいか）により決まります。リークパスがパッケージに存在する場合、この加圧の際にKr-85が浸入します。その後、試料をチャンバーから取り出し、パーッケージ内部に存在するKr-85からの放射線量を測定することにより、リークレートを求めることができます。

また、このKr-85リーク試験は、MIL規格（Mil-Std 750 method 1071 condition G1, G2　； Mil-Std 883 method 1014 condition B1, B2）に準拠した試験の実施が可能です。