分析事例紹介:表面分析受託サービス

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Siウェーハ上の金属汚染分析について (Surface-SIMS, TXRF)

Surface-SIMS.XPTM分析

■ 特徴
  • H~Uまで分析可能
  • ほとんどの金属元素はE8-9atoms/cm2まで検出可能
  • 微小部分析が可能(最小50μm x 50μmエリアまで分析可能)
  • 最表面の深さ分布を分析可能
  • フルウェーハ分析は不可
  • ASTM Method(F1617-98):Al、Na、KおよびFe
  • 精度:~10% RSD
  • 分析可能な基板:Si, SiO2およびSiC
ベアSiウェーハ表面のAl汚染
■ 分析例:P注入時のAl汚染深さ濃度分布
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