分析事例紹介:表面分析受託サービス

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SIMS分析:酸化ガリウム(Ga2O3)の検出下限表

2018/9/18現在

1.O2/SIMS
Positive Secondary Ion Detection

Element Detection Limit (atoms/cm3)
Na Low e14
Mg Low e14
Al Low e16
K 5e13 ~ 1e14
Ca Low e14
Fe 5e14
Ni 1e15
Cu Low e15
Pb Low e14
   

2.Cs/SIMS
Negative Secondary Ion Detection

Element Detection Limit (atoms/cm3)
H 1e17
C 1e17
N 1 ~ 2e16
F 2e14
Si 1e15
P 2e15
Cl 2e15
Ge 5e15
Br 1e15
Sn 5e15
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