表面分析受託サービスのナノサイエンス

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ＥＳＤ（静電気破壊）試験後の異常箇所評価

ESD試験後の電気特性評価で異常が確認された試料の解析事例。
X線顕微鏡観察、裏面エミッション測定、SEMを用いての原因調査が可能です。